“奇怪,怎么会这样,不应该是这样的,到底是哪里出了问题?”
光刻机实验室内,陆隐看着反馈到电脑上的数据百思不得其解。
试验前的各种数据没错,机器也没错,各种设备均没有错,怎么会得出这样的结果。
试验成功了没错,但这还达不到他的要求。
陆隐从试验室里出来,回到主控制室内,又在主控制室的电脑上调看了很久,依旧没有找出答案。
他暗暗叹了口气,不禁有些失望。
“难道是波长还不够?”
他现在所用的氟化氩准分子激光器能产生波长193纳米的深紫外光,这也是现在市面上常用在光刻机上的深紫外光,同时也是西洋国和郁金香国等科技发达国家用来研发的深紫外光波长。
但193纳米的深紫外光目前最大的战绩是前段时间西洋国发布的2n光刻机。
目前,还从未有任何国家任何人,能用193纳米深紫外光将光刻机突破到1n。
换一句话来说,他现在所研发出来的,也是2n的光刻机,但这和他的初衷,差了太多太多。
按照小a给的图纸,不应该会产生这样的结果,一定是忽略了什么细节。
“难道真是这个原因?还是硅片涂胶问题?”
陆隐越来越疑惑,眉头也皱越紧。
“陈云,你们几个过来再把设备调试一下,这些数据也重新计算一次。”
陆隐朝陈云等人喊了一声。
陈云几人不明所以,但还是按照陆隐的吩咐,将所有设备和数据全都调试和计算了一遍。
但陆隐看着最新得出的数据,还是不满意,“不对,还是不对,究竟是什么原因。”
陈云不解,“陆工,哪里不对?这已经是一套最完整的数据,我们已经成功了,咱们已经攻克了十几年来一直困扰华国的大问题,咱们有自己的光刻机技术了啊!”
“西洋国那些科技大国用了三年的时间突破了2n光刻机技术,你只用了两个月,你已经是个传奇了!
这可是2n光刻机啊!
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